產(chǎn)品簡介：

質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密測量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、 環(huán)境保護(hù)和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝 設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔 煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

工作原理：

PZ10-HS/DS 系列氣體質(zhì)量流量控制器較好的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司特別的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度 及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測量氣體流量的降溫效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的 原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅(jiān)固 的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。